| News：ニュース速報 | 2000年12月8日 04:21 更新 |
2.75μメートルのワイングラス──SIIとNECら，超微細構造物を作成するナノテクを発表
NECとセイコーインスツルメンツ（SII），姫路工業大学は12月5日，100ナノメートル（1ナノメートルは100万分の1ミリメートル）以下のサイズの立体構造物を作成する技術を開発したと発表した。
新技術では，10ナノメートル程度のガリウム集束イオンビームを，コンピューター制御による電磁界で偏向させ，原料ガス中をナノレベルの精度で立体走査させ，CADでデザインされた3次元構造物を作成する。従来のレーザーを利用した光造形やシリコン半導体プロセスに比べ，シンプルで高精度な点がメリットだという。
今回の新技術を利用し，直径2.75μメートルのワイングラスを作成した＝写真＝。新技術は，ナノデバイスやナノマシンの性能向上や開発に飛躍的な向上もたらすとしている。
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SIIのニュースリリース
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