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湯之上隆(微細加工研究所)

湯之上隆(微細加工研究所)がアイティメディアで執筆した記事一覧です。

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記事一覧

湯之上隆のナノフォーカス(6) ドライエッチング技術のイノベーション史(6):

ドライエッチング技術のイノベーション史をたどるシリーズの最終回は、アトミックレイヤーエッチング技術に焦点を当てる。さらに、今後の展望についても考察する。

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湯之上隆のナノフォーカス(4) ドライエッチング技術のイノベーション史(4):

1980年代初旬、プラズマを用いたエッチング技術は、チャージングダメージという大きな壁に直面した。だが、日米によるすさまじい研究の結果、2000年までにほぼ全ての問題が解決された。本稿では、問題解決までの足跡をたどる。

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湯之上隆のナノフォーカス(2) ドライエッチング技術のイノベーション史(2):

前回に引き続き、ドライエッチング技術におけるイノベーションの歴史を取り上げる。今回は、ドライエッチング技術の開発を語る上で欠かせない、重要な人物たちと、彼らが発明した技術を紹介する。

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湯之上隆のナノフォーカス(1) ドライエッチング技術のイノベーション史(1):

半導体製造において欠かせないドライエッチングプロセス。ドライエッチング技術は、どのような技術改良を重ねてきたのだろうか。本連載では6回にわたり、ドライエッチング技術で起こったイノベーションの歴史をたどる。

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半導体開発だけではない:

「中国製造2025」の一環として半導体産業の強化を掲げる中国。今、中国国内には巨大な半導体製造工場が立ち上がりつつある。半導体製造装置については日米欧の寡占状態にあるが、中国は製造装置の内製化も進めようとしている。中国による製造装置の国産化は、どの程度まで進んでいるのか。

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