湯之上隆のナノフォーカス（6） ドライエッチング技術のイノベーション史（6）：
ドライエッチング技術のイノベーション史をたどるシリーズの最終回は、アトミックレイヤーエッチング技術に焦点を当てる。さらに、今後の展望についても考察する。
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湯之上隆のナノフォーカス（5） ドライエッチング技術のイノベーション史（5）：
今回は、最先端のドライエッチング技術として、マルチ・パターニングとHARC（High Aspect Ratio Contact）について解説する。
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湯之上隆のナノフォーカス（4） ドライエッチング技術のイノベーション史（4）：
1980年代初旬、プラズマを用いたエッチング技術は、チャージングダメージという大きな壁に直面した。だが、日米によるすさまじい研究の結果、2000年までにほぼ全ての問題が解決された。本稿では、問題解決までの足跡をたどる。
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湯之上隆のナノフォーカス（2） ドライエッチング技術のイノベーション史（2）：
前回に引き続き、ドライエッチング技術におけるイノベーションの歴史を取り上げる。今回は、ドライエッチング技術の開発を語る上で欠かせない、重要な人物たちと、彼らが発明した技術を紹介する。
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湯之上隆のナノフォーカス（1） ドライエッチング技術のイノベーション史（1）：
半導体製造において欠かせないドライエッチングプロセス。ドライエッチング技術は、どのような技術改良を重ねてきたのだろうか。本連載では6回にわたり、ドライエッチング技術で起こったイノベーションの歴史をたどる。
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