記事一覧 ラムリサーチ： HARエッチングとナノスケールパターニングで実現するメモリロードマップ メモリ技術は市場の要求に応じて、より高密度かつ高性能、そして新素材や3D構造、高アスペクト比（HAR）エッチング、EUV（極端紫外線）リソグラフィへと向かっている。本稿では、これらの方向性を見据えた、Lam Researchの開発内容を紹介する。 (2022年1月18日)
ラムリサーチ： HARエッチングとナノスケールパターニングで実現するメモリロードマップ メモリ技術は市場の要求に応じて、より高密度かつ高性能、そして新素材や3D構造、高アスペクト比（HAR）エッチング、EUV（極端紫外線）リソグラフィへと向かっている。本稿では、これらの方向性を見据えた、Lam Researchの開発内容を紹介する。 (2022年1月18日)
