記事一覧 Canatuが乾式生産法を開発： EUVペリクルとして期待されるCNT 課題は製造法 EUV（極端紫外線）リソグラフィに使うペリクルの素材として注目を集めているのが、カーボンナノチューブ（CNT）だ。CNTにはメリットも多いものの、EUVペリクルに応用するには、生産法が課題になる。フィンランドCanatuは、CNTの新しい製造法の開発に取り組んでいる。 (2024年9月6日)
Canatuが乾式生産法を開発： EUVペリクルとして期待されるCNT 課題は製造法 EUV（極端紫外線）リソグラフィに使うペリクルの素材として注目を集めているのが、カーボンナノチューブ（CNT）だ。CNTにはメリットも多いものの、EUVペリクルに応用するには、生産法が課題になる。フィンランドCanatuは、CNTの新しい製造法の開発に取り組んでいる。 (2024年9月6日)
