記事一覧 供給拡大には課題も: EUV増産の鍵は「光学系」 ASMLとZeissの挑戦 ASMLは、EUV露光装置などの需要拡大を受け、2028年に向けたさらなる生産能力の増強を検討している。ただし、増産には光学系を供給するCarl Zeiss SMTの生産能力拡大が欠かせない。 (2026年10月29日)
供給拡大には課題も: EUV増産の鍵は「光学系」 ASMLとZeissの挑戦 ASMLは、EUV露光装置などの需要拡大を受け、2028年に向けたさらなる生産能力の増強を検討している。ただし、増産には光学系を供給するCarl Zeiss SMTの生産能力拡大が欠かせない。 (2026年10月29日)