ナノテク標準策定に向けSEMIとIEEEが協力
半導体製造装置の業界団体SEMIと標準化団体IEEEは6月7日、ナノテクとマイクロマシン（MEMS）関連の標準策定を目指し、相互のプログラムをサポートする覚書を交わしたと発表した。両団体が標準策定をめぐって協力体制を築くのは初めて。
SEMIとIEEEは、連絡担当者を任命し、定期的に情報を交換するとともに、定例で合同会議を開催する。また、それぞれの委員会でナノテクとMEMSに関する最新情報を発表し、標準化についての情報普及に努める。
IEEEの標準委員会（IEEE-SA）はナノテク標準の策定を進めており、2005年にカーボンナノチューブに関する計測標準を公開する見通し。SEMIのMEMS Initiativeも同様の取り組みを進めている。
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