米粒大のリレー、松下電工がMEMSで製品化

 松下電工は、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems:微小電気機械システム)技術で小型化した、米粒大のリレーを開発、10月1日から販売する。

MEMSリレー(上)と1軸加速度センサー(下左)、3軸加速度センサー

 4.0×2.5×1.3ミリの超小型高周波リレー。同社のMEMS技術とメカニカルリレー技術を融合して小型化した。ICテスターや計測器に加え、携帯電話用途などを想定している。

 静電容量方式の小型1軸加速度センサー「GS1」と、ピエゾ抵抗方式の3軸加速度センサー「GS3」も製品化した。

 それぞれ、「CEATEC JAPAN 2005」(10月4~8日、幕張メッセ)に出展する。

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