エプソン、液プロ向けデバイス最先端製造ラインがパイロットラン

 セイコーエプソンは10月25日、北海道千歳市に建設した高温ポリシリコンTFT液晶パネル(HTPS)新工場「千歳事業所」で、同社初となる300ミリ(12インチ)ウェハーによるHTPS製造ラインのパイロットランを開始したと発表した。

photo 千歳事業所のHTPSアレイ工程ライン

 HTPSは、液晶フロントプロジェクターや液晶リアプロジェクションテレビ(リアプロTV、PTV)など3LCD液晶プロジェクターに使われる表示デバイス。従来の製造ライン(諏訪南事業所、200ミリウェハー)に千歳事業所の最先端300ミリウェハー石英ガラスを使ったHTPS製造ラインを加えることで、旺盛な需要への迅速な対応とコストダウンを図っていく構え。

 なお、先日発表された第5世代HTPS「D5」は、千歳事業所ではなく諏訪南事業所で当初生産が行われる予定。

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