ガラス表面にナノレベルの微細加工 オリンパスら開発
オリンパスと日本板硝子は11月4日、ガラス表面にナノメートルレベルの凹凸などを直接形成する微細加工技術を世界で初めて開発したと発表した。従来よりも安価にでき、多品種少量生産にも向くという。電子デバイス製造に使うナノインプリント用途などで2年後の製品化を目指す。
試作したマイクロセル。セルサイズは120（縦）×120（横）×10（高さ）μメートル、線幅は10μメートル
構造体を形成したい部分に、加工工具「圧子」を使って局所的な高圧を加え、圧縮層を作る。これをフッ化水素酸系の水溶液でエッチングすると、圧縮層が残る──という仕組み。圧子のサイズとエッチング量により、ナノメートルからμメートルオーダーで自由に加工できるという。
ガラス表面に微細加工を施す場合、従来技術では半導体製造技術のフォトリソグラフィー法を応用していた。新技術はフォトマスクや半導体製造プロセスが不要なため、低コストで多品種少量生産が可能になるという。
今後、ナノインプリントやプラスチック成型用の型、光学部品、バイオチップなどのサンプル供給を行い、応用分野の検討を進める。
Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.
こんなメディアも見られています
ITmedia NEWSに関連する情報をお探しであれば、こちらのメディアもお役に立てるかもしれません。
SpecialPR
本日の新着記事
アクセスランキング
-
1
日本人の大腸がん、約半数に“腸内細菌の毒素”が関与 40歳以下の発症は7割 東大・阪大が200人を全ゲノム解析
-
2
初めての一眼にフルサイズを選びたい、でも高くて重いのは嫌……「EOS R8 Mark II」はそういう人のためのミラーレスだった
-
3
AnthropicのAI、未解決殺人事件で警察に虚偽の情報提供 米政権は「通知と是正は義務」と警告
-
4
はてな、11億円流出の調査報告書を公開 偽警察、口外禁止、残業・休出200時間超、孤立……ほころびが連鎖
-
5
MicrosoftのナデラCEO、「SIモデルは“内部リスク”として扱うべき」とXに投稿 統制はモデルの外に置くよう提言
-
6
「お前たちのクラウドはわれわれのもの」 IDCFクラウドの管理画面に出た攻撃者のメッセージ 内容に運営元は
-
7
「ポートピア連続殺人事件」完全新作 ファミコン版フルリメイク＋新シナリオ 堀井雄二総監督
-
8
YouTube、収益化基準を2027年に大幅引き上げへ 新規参加条件が従来の2倍に
-
9
JR東日本、「えきねっと」「ビューカード」などで漏えいか メルアドなど最大609万件 IDCFへの不正アクセスで【追記あり】
-
10
IDCFクラウド障害、親会社のソフトバンクが顧客窓口に 調査・復旧も支援
ITmedia NEWS SNS
@itmedia_newsをフォロー
インフォメーション
注目情報をチェック
ITmediaNEWSをフォロー
あなたにおすすめの記事PR