5nmロジックへと導く: 原子層エッチングがEUVの確率変動を低減 次世代の半導体製造プロセスに必須ともいわれるEUV(極端紫外線)リソグラフィ技術。今回は、大手装置メーカーのLam Researchが、EUVリソグラフィにおいて重要な要素となる確率変動について解説する。 (2021年4月12日)
5nmロジックへと導く: 原子層エッチングがEUVの確率変動を低減 次世代の半導体製造プロセスに必須ともいわれるEUV(極端紫外線)リソグラフィ技術。今回は、大手装置メーカーのLam Researchが、EUVリソグラフィにおいて重要な要素となる確率変動について解説する。 (2021年4月12日)