世界最高感度でα線測定 LSIエラー低減へ
富士通研究所は4月15日、LSIの誤作動（ソフトエラー）の原因となるα線を、従来の30倍と世界最高感度で測定する技術を開発したと発表した。エラーが出やすいLSIやLSI材料を高感度で見分け、エラー発生率の低いLSIの生産につなげる。
プロセスの微細化に伴い、LSI材料が放出するα線によるソフトエラーが無視できなくなってきている。最近のLSIは、従来の測定装置の測定限界値を下回るα線しか放出しないため、ソフトエラーの発生率の計算時は、実際の放出値を上回る測定限界値を使わざるをえず、正確な計算ができなかった。
新技術「真空アルファ線トラッキング法」は、α線を真空中で測定することで、測定感度を下げる原因となるガスを取り除いたほか、測定器の材質をプラスチックに変えて感度アップに成功した。
新技術でソフトエラー発生率を計算したところ、実際には従来値で計算した発生率よりも著しく低かったことが分かった。高感度化で、α線量が少ない材料を選ぶこともできるようになる。同技術を活用し、信頼性の高いLSI開発につなげる。
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