東京エレクトロン、岩手・宮城のグループ事業所で「建物・設備に被害はなし」 青森県東方沖の地震を受け
東京エレクトロンは12月9日、8日午後11時15分ごろに青森県東方沖で発生した最大震度6強の地震を受け、グループ会社の東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ東北事業所(岩手県奥州市)と、東京エレクトロン宮城(宮城県黒川郡)について「建物・設備に被害は確認されていない」と発表した。両事業所ともに通常稼働しているという。
東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ東北事業所は、半導体の製造過程でウェーハに成膜する装置を開発。東京エレクトロン宮城は、成膜後に回路のパターンに沿って膜を削る装置を開発している。
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