最新記事一覧
強い紫外線やプラズマなどにより過酷な地球低軌道。この環境下で1年以上の環境耐久テストに耐え抜いた透明ポリイミド（PI）フィルムが、ついに実用化フェーズに入る。
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矢野経済研究所によると、半導体製造装置向けファインセラミックス部材の世界市場は、2030年に1.6兆円を突破する見通しである。今後は、耐プラズマ性や高温耐性、高熱伝導性などに優れたファインセラミックスを用いた部材の需要拡大が見込まれるという。
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ラムリサーチは2025年10月に開催した記者説明会で、新しいプラズマ化学蒸着（PECVD）装置「VECTOR TEOS 3D」について説明した。先端パッケージング向けの装置で、反りが大きいウエハーにも厚さ60μm以上の絶縁体膜を成膜できる。これにより、ダイ間埋め込みの工程において、ボイドやクラックのない絶縁体膜を作成できるとする。
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Google DeepMindは、核融合スタートアップCFSと提携し、AIで商用核融合炉「SPARC」の開発を加速させると発表した。AIエージェントによる数百万回の仮想実験や、プラズマを制御する“AIパイロット”の開発を通じ、2027年の「ネット核融合エネルギー」達成を目指す。
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名古屋大学は、ハロゲンフリーのプラズマプロセスで、酸化ハフニウムの異方性原子層エッチングに成功した。難エッチング材料の酸化ハフニウムを原子レベルで微細に加工、制御可能になる。
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フッ素ゴムの中でも最高レベルの耐薬品性、耐熱性、耐プラズマ性を持ち過酷な環境でも劣化しにくいFFKMは、半導体製造に欠かせない。しかし、PFASが環境問題として注目されたことにより、市場の要求に変化が起きている。AGCが満を持してリリースしたフッ素ゴム製品「SFグレード」は、その変化に対応するための課題を解決する切り札となるのか。開発者が語る、新製品に込めた思いと今後の展望とは。
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TDKは、米国ニュージャージー州に本社を置くQEIコーポレーション（以下、QEI）の電源ビジネス関連資産を買収したと発表した。QEIは、半導体製造工程におけるプラズマプロセス用途の高周波（RF）電源装置およびインピーダンスマッチング装置を設計／製造している。TDKは今回の資産譲受によって、同分野における事業基盤の強化を図る。
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横浜国立大学は、新規接合膜を用いて、300mmシリコンウエハー上への成膜と直接接合に成功した。CMPやプラズマ処理を行うことなく、接合界面が形成されたことも確かめた。
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東北大学らは、銅酸化物超伝導体のプラズマ振動の性質を、高輝度放射光による実験で解明した。共鳴非弾性X線散乱装置を使用し、高温超伝導体内部の電子の振動の観測に成功。超伝導発現機構の解明が期待される。
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ラムリサーチは、配線工程において、従来のタングステンに代わり、モリブデンを使用する原子層堆積（ALD）装置を発表した。次世代のロジックやメモリの製造に向け、より低抵抗の金属で配線を形成できるようになる。併せて、新たなプラズマ制御機構を用いたエッチング装置も発表した。
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東京エレクトロン子会社の東京エレクトロン宮城に建設していた「第3開発棟」が完成した。プラズマエッチング装置など、半導体製造装置の開発拠点となる見通しだ。
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Lam Research（ラムリサーチ）はエッチング装置など半導体製造装置の新製品を発表した。
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日本電信電話と量子科学技術研究開発機構は、複数のAIを活用し、大型核融合装置のプラズマ閉じ込め磁場を予測する手法を開発した。トカマク型超伝導プラズマ実験装置「JT-60SA」に同手法を適用し、高精度なプラズマ位置形状の再現に成功した。
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最新の電子機器には載らないものの、昔懐かしのプロセッサはホビー用途などでひそかに息づき、エンジニアたちの「遊び心」をくすぐっている。本連載では、そんな「いにしえ」のプロセッサを取り上げ、紹介していく。まずはDEC（Digital Equipment Corporation）が開発し、28年もの長きにわたり生産された「PDP-11」を取り上げる。
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東京エレクトロン（TEL）は2025年2月、製造子会社の東京エレクトロン宮城（宮城県黒川郡大和町）に、プラズマエッチング装置などの半導体製造装置を増産するための生産新棟を建設すると発表した。2027年夏の完成を予定している。建設費用は約1040億円。
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京都大学は、プラズマ中で生じる乱流によるエネルギーや粒子の輸送を予測する、乱流輸送モデルの高精度化に成功した。理論やシミュレーションによる予測と実験によるデータを組み合わせ、乱流輸送モデルの予測精度を高めた。
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東京科学大学（Science Tokyo）は、プラズマ流動層反応装置を用い、約600℃の低温でCOから電気伝導性が高いカーボンブラックを連続かつ大量合成することに成功した。合成プロセスにプラズマで発生する熱などを有効利用できれば、CO2排出量を従来の10分の1に低減できる可能性もある。
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Nextorageは、Type-Cポートの利用と給電を同時に行えるパススルーアダプター「PDPアダプター」（型番：NX-PDPA1）の一般販売を開始する。
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Nextorageは、リバーシブル接続もサポートしたUSB Type-Cパススルーアダプター「PDPアダプター」のクラウドファンディングを開始した。
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MONOistの記事からクイズを出題！ モノづくり業界の知識を楽しく増やしていきましょう。
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産業技術総合研究所（産総研）は名古屋大学低温プラズマ科学研究センターと共同で、プラズマ加工による半導体素子へのダメージ量を、簡便かつ短時間で定量評価することに成功した。
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魁半導体は、医療用注射針などの製造工程において、針管と針基の接着を強化するためのプラズマ処理装置「針用真空プラズマ装置 TSM-90」を発売した。プラズマ技術で、カヌラとハブの接着と接着強化のための表面汚染物質の除去を同時に実施する。
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NTTが、THzレベルの周波数を持つ超高速の電気信号に制御に向けた基礎技術の開発で成果を得たと発表。グラフェン上に電荷密度のプラズマ振動であるプラズモンの波束を、パルス幅として世界最短となる1.2psで電気的に発生させるとともに伝搬を制御することに成功したという。
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FUJIは、空気を利用した大気圧プラズマユニット「ATOM」を開発した。800mm/秒での高速処理ができ、従来機種より導入コストの低減やメンテナンス性の向上を図っている。
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三菱重工業とArcelorMittalは、高炉ガスなどから回収した二酸化炭素を一酸化炭素にプラズマ変換する実証試験を開始する。鉄鋼生産過程におけるCO2の循環利用プロセスを検証する。
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トルンプは宮城県仙台市に「宮城テクニカルセンター・仙台オフィス」を開設した。
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板金加工機大手のトルンプは、半導体製造装置向けプラズマ電源や産業用加熱ソリューションを手掛けるエレクトロニクス事業の国内展開に注力する。5年後の2028年には、国内において板金加工機事業と同等の売上高まで拡大させる方針だ。
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注目デバイスの活用で組み込み開発の幅を広げることが狙いの本連載。第17回は、フライバックトランスを使って人工的に放電プラズマを起こす回路を紹介する。
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制御AI技術を研究開発するエイシングは、核融合技術の進展のため、核融合科学研究所との共同研究を開始した。プラズマの制御技術を確立し、安定した核融合技術の実現を目指す。
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デンカとTransform Materialsは、低炭素アセチレン製造技術に関する共同研究と実証設備導入の契約を締結した。マイクロ波プラズマを活用するアセチレン製造設備の導入により、主力製品のCO2排出量削減を目指す。
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パナソニック ホールディングス グループCEOの楠見雄規氏は報道陣の合同インタビューに応じ、就任後2年間の手応えについて語るとともに「成長へのギアチェンジ」とする中で今後の方向性について説明した。本稿では「2年間の振り返り」「車載用電池」「環境への取り組み」についての質疑応答の内容を紹介する。
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プリンストンは、USB有線接続に対応した書画カメラ「PDP-U12MS」を発売する。
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パナソニック コネクトは同社のプラズマクリーナー「PSX307」の設備状態をスコア化し、最適時期でのメンテナンスを支援するアプリケーション「PSX307-HSA」の開発を発表、同社のプライベート展示会「Factory Solution Conference 2023」において受注を開始した。
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北海道大学は、半導体露光用EUV光源を構成する「プラズマの複雑な流れ」を観測することに成功した。プラズマの流れを制御すれば、EUV光源の高出力化が可能になるという。
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豊橋技術科学大学と東北大学の研究グループは、マイクロ波共振器で形成される高磁場のみで金属プラズマを発生させ、安定に維持できることを発見した。今回の研究成果は、最新の半導体製造プロセスにも適用できる可能性があるという。
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名古屋大学は、日立製作所や日立ハイテクとの共同研究により、蒸気プラズマによる三元金属炭化物（TiAlC）のドライエッチングに成功した。
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魁半導体は、撥水性と親水性を示す薄膜をドライプロセス（乾式）で生成することができる、真空プラズマ装置「フリップフロップコーターFFC-400M」を開発した。2023年に竣工予定の新工場で、同成膜の受託事業を始める予定。
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見ず知らずの方からSNS経由でメーカーサポートが終了したプラズマテレビの修理支援を求められた。どうも不具合現象から電源不良のようだったので、引き受けることにした。
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今回は、火花が出なくなったプラズマカッターの修理の続きだ。前回、プラズマカッターの基板を点検しながら不具合箇所を目視で確認したが見つからなかった。通電して消費電力や整流電圧も確認したが問題点は見つからなかった。そのため、プラズマスイッチをオンにして、AC200V電源を通電して放電させるしか手がなくなった――。
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理化学研究所は、水蒸気プラズマを利用して、接着剤を使用せずに高分子フィルム上で成膜した金同士を電気的に接続する技術「水蒸気プラズマ接合」を開発した。同技術で接合した各基板上の金電極は、境界線が消失し、強固に直接接合する。
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今回は、プラズマカッターの修理を報告する。高電圧で危険な機器だが、高電圧機器の試作品を設計、製造したことがあるので、引き受けた。
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数多くのハードウェアスタートアップやメイカースペース事業者などを取材してきた越智岳人氏が、今注目のスタートアップを紹介する連載。今回は、小型の家庭用プラズマ美顔器「Un」を開発し、既存の美容機器市場に一石を投じ、価格破壊を起こすDENSHINDO（傳心堂）の開発ストーリーを取り上げる。
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不二越は、マイクロ波を利用したコーティング技術であるMVP法を採用した、DLCコーティング装置「SMVP-1020」を発売した。高密度プラズマによるDLC膜の高速外面コーティングが可能で、細穴内面の成膜にも対応する。
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西松建設は、東北大学との共同研究で、施設園芸や植物工場の水耕栽培で使用される培養液の衛生管理方法として、プラズマにより培養液中に存在する微生物（かび）の増殖を抑制する殺菌技術を開発した。今後は、今回の技術を生かして、植物工場の水耕栽培における安定生産と生産性向上に役立つ技術開発を推進する。
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魁半導体は、真空プラズマ装置「プラズマエッチャーCPEシリーズ」として、新たにステージ加熱機構を搭載した「CPE-200AHM」の販売を始めた。加熱しない場合に比べて最大2倍の処理効果が得られるという。
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ダイハツ工業は2021年8月30日、オゾンを利用した除菌装置「MIRACLE BUSTER」を開発し、福岡県久留米市の施設に導入したと発表した。日本特殊陶業と共同開発した。ダイハツは2021年3月にも紫外線による除菌装置を発表、全国の販売店に無償貸与している。
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魁半導体は、滋賀県立大学と共同開発した、真空プラズマ装置内で動作するIoTセンサーを用いて、プラズマ発光状況を直接検出し、無線通信で外部送信することに成功した。プラズマ制御の精度向上が見込まれる。
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科学技術振興機構（JST）は、東京大学大学院工学系研究科の一木隆範教授が行った研究を基に、カンケンテクノが受託開発した「減圧プラズマによる高効率除害装置」について、その成果を認定した。開発した排ガス除害装置を用いると、ICなどを製造する工程で用いられるさまざまな危険ガスを効率よく無害化できるという。
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京都セミコンダクターはIoT化プロジェクト「スマートFAB」を推進中だ。同社はRaspberry Piなどの各種センサーを用いて、25年以上前から使用を続けるプラズマCVD装置などをIoT化した。これにより各種装置の稼働状況やクリーンルームの環境情報に基づいた早期の異常検知を実現している。
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京都セミコンダクターは2020年12月10日、半導体の薄膜形成に必要なプラズマCVD装置などをIoT化する「スマートFAB」の取り組みを同年12月4日から開始した。同装置は25年以上前から使用している機器で、IoT化によって稼働状況を監視することなどで延命化し、装置買い替えのコストなどを削減する。
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