東芝、300ミリウエハ対応NANDフラッシュ工場を四日市に増設

[ITmedia]

　東芝は4月13日、300ミリウエハに対応したNAND型フラッシュメモリ製造棟の建設を、半導体メモリ生産拠点の四日市工場（三重県四日市市）で開始した。2005年度下期から、90ナノメートルプロセスによるNANDフラッシュを月産1万枚規模（同サイズウエハ換算）で量産開始する計画。

　新製造棟は鉄骨5階建て。延べ床面積約11万3000平方メートルのうち、クリーンルームは約3万4500平方メートル。

　投資総額は2006年まで4年間で約2700億円を見込み、米SanDiskと共同で投資する。NANDフラッシュ市場は年率30％で成長し、2003年の約3800億円から2005年には約6800億円に拡大する見通し。このため投資総額を当初計画から約700億円増額した。

　フル稼働時の生産規模は月産3万7500枚で、東芝とSanDiskで均等に分ける予定。設備の追加で同6万2500枚まで増産可能だ。2006年度上期には70ナノメートル、2007年には55ナノメートルに順次プロセスをシュリンクさせる計画。