松下、45nmシステムLSIの量産一番乗り

[ITmedia]

　松下電器産業は6月19日、45ナノメートル（nm）プロセスによるシステムLSIの量産を開始したと発表した。同プロセスによるシステムLSI量産は世界初としている。

45nmプロセスによる量産を始めた魚津工場

　魚津工場（富山県魚津市）の300ミリウエハーラインで、デジタル家電用システムLSI「Uniphier」の新世代品の量産を開始した。H.264やMPEG-2などの複数の規格に対応するコーデックを搭載。45nmプロセスの採用で、大規模システムをワンチップかつ低消費電力で実現したとしている。年内にもデジタル家電への搭載を始める。

　45nmプロセスには、開口率が1超の液浸ArFスキャナーと、同社独自の超解像形成技術を導入。「歪導入高移動度トランジスタ」の採用と、Low-k絶縁膜による多層配線技術により、高速化と低消費電力を両立するという。

　同社はルネサステクノロジと共同で45nmプロセスの開発を進めてきた（関連記事参照）。65nmプロセスによるシステムLSIの量産出荷は2005年10月で、民生用としては初だった（関連記事参照）。

　米Intelは年内に45nmプロセスによるプロセッサをリリースする計画で、今年以降、半導体の微細化がさらに進む。