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「MEMS」関連の最新 ニュース・レビュー・解説 記事 まとめ

Micro Electro Mechanical Systems

センシング:
200m先を高解像にスキャンできるソリッドステート式LiDAR、東芝が新開発
東芝は2020年7月7日、非同軸型のソリッドステート式のLiDARにおいて、200mの長距離でも高解像度で画像スキャンを行えるようにする受光技術などを新たに開発したと発表した。LiDARは長距離測距と高解像度でのスキャン実行が両立困難だとされていたが、受光素子であるSiPMの小型化などを通じてこれらの課題を解決できる可能性があるとする。(2020/7/9)

アナログ回路設計講座(36):
PR:状態監視用スマートセンサー、将来の保守作業に向けて求められる要件とは?
予知保全を実現する状態監視用スマートセンサーの機能、求められる要件、主要な特性などについて説明します。(2020/7/6)

応用製品の開発期間を短縮:
Bluetooth 5.0対応無線モジュール用開発ボード
STマイクロエレクトロニクスは、Bluetooth 5.0規格に準拠した無線モジュール「BlueNRG-M2SA」用の開発ボード「STEVAL-IDB008V1M」を発表した。(2020/7/3)

研究開発の最前線:
ハエの脚裏を模倣して接着と分離を繰り返せる構造を開発、作り方もハエに学ぶ
NIMS(物質・材料研究機構)は、北海道教育大学、浜松医科大学と共同で、ハエを参考に「接着と分離を繰り返せる接着構造」を単純かつ低コストで製作できる新しい製造プロセスの開発に成功した。バイオミメティクス(生物模倣技術)を基に、接着構造だけでなく、作り方もハエの「生きたサナギの中での成長」を模倣することで実現した。(2020/6/15)

村田製作所 SCHA600:
ASIL-D対応の6軸3D MEMS慣性力センサー
村田製作所は、ASIL-Dに対応した6軸3D MEMS慣性力センサー「SCHA600」シリーズを発表した。衛星測位システム単独では測位が難しい、トンネル内などの車両位置も誤差数十cmレベルで検知するため、ADASや自動運転用途に適している。(2020/6/11)

バラして見ずにはいられない:
「iPhone SE(第2世代)」を分解して分かった“4年分の進化” iPhone 8と共通の部品も
「iPhone SE」の初号機が発売されたのは2016年3月だった。その4年後に発売された「iPhone SE(第2世代)」を分解。部品は「iPhone 8」と共通するものが多いが、4年の歳月がもたらしたスマートフォンの進化をたどりたい。(2020/6/7)

サプライチェーンを見直す:
製造拠点は「多様化すべき」 米MEMSファウンドリー
米国オレゴン州メドフォードを拠点とするハイテク企業Rogue Valley Microdevices(以下、Rogue Valley)は、新型コロナウイルス感染症(COVID-19)診断テストの開発が急がれる中、戦略的役割を果たすバイオメディカル企業で、米国に製造業を呼び戻す議論をけん引する存在でもある。(2020/5/21)

高性能化と設計の自由度を高める:
村田製作所、3D MEMS慣性力センサー製品を拡充
村田製作所は、3D MEMS慣性力センサー「SCCシリーズ」として、「SCC3100/SCC3200シリーズ(4軸)」と「SCC3300シリーズ(5軸)」を新たに追加した。自動車の横滑り防止装置(ESC)などの用途に向ける。(2020/5/15)

福田昭のデバイス通信(242) 2019年度版実装技術ロードマップ(52):
超音波センサーが自動運転やロボット、オフィス機器などの高度化を支援
今回は超音波センサーを取り上げる。超音波センサーの原理と種類を説明する。(2020/4/24)

福田昭のデバイス通信(241) 2019年度版実装技術ロードマップ(51):
代表的なMEMSセンサーとその応用(後編)
MEMSセンサーを前後編で紹介している。後編となる今回は、圧力センサーと傾斜センサーについて解説する。(2020/4/21)

福田昭のデバイス通信(240) 2019年度版実装技術ロードマップ(50):
代表的なMEMSセンサーとその応用(前編)
代表的なMEMSセンサーとその用途を前後編で説明する。今回は加速度センサーとジャイロセンサーについて解説する。(2020/4/16)

福田昭のデバイス通信(239) 2019年度版実装技術ロードマップ(49):
自動運転を支えるMEMSセンサーとその応用
今回は、自動運転を支えるMEMSセンサーと、その応用について解説する。(2020/4/13)

MEMSソリッドステート型:
ZMP、小型で安価な高精細3D-LiDARを販売
ZMPは、Robosenseが開発中のMEMSソリッドステート型3D-LiDAR「RSLiDAR-M1」について、予約販売を始めた。(2020/4/14)

Industry 4.0の実現を加速:
ST、振動検出用3軸MEMS加速度センサーを発表
STマイクロエレクトロニクスは、産業機器の振動検出に向けた3軸MEMS加速度センサーと、これらを搭載した評価キットを発表した。(2020/4/13)

新世代200mm装置の導入も進む:
スマートカーが200mmファブを進化させる
急速な成長を続ける車載半導体市場によって、200mmウエハー対応工場(=200mmファブ)への需要が拡大、新世代の装置も登場してきました。(2020/4/10)

福田昭のデバイス通信(238) 2019年度版実装技術ロードマップ(48):
自動車用センサーの技術動向(後編)
自動車用センサーの後編では、超音波センサー、LiDAR、内装(インテリア)用センサーを取り上げ、それぞれの仕組みと用途を紹介する。(2020/4/8)

矢野経済研究所が調査:
車載用半導体世界市場、2030年に586億米ドルへ
矢野経済研究所によると、車載用半導体の世界市場は2019年見込みの314億1000万米ドルに対し、2030年は586億1000万米ドル規模に達する見通しである。(2020/4/6)

福田昭のデバイス通信(237) 2019年度版実装技術ロードマップ(47):
自動車用センサーの技術動向(前編)
今回から、自動車におけるセンサーの技術動向を前後編に分けて紹介する。前編では、対象物をリアルタイムで認識するカメラと、定速走行・車間距離制御を支えるミリ波レーダーについて解説する。(2020/4/3)

福田昭のデバイス通信(236) 2019年度版実装技術ロードマップ(46):
MEMSセンサーをスマートフォンと自動車が数多く搭載
今回からMEMSセンサーを解説する。MEMSセンサーの市場規模と主なアプリケーションについて説明したい。(2020/3/31)

エコカー技術:
2030年の車載電装システム市場、電動パワトレが2018年比8倍の18兆円に
富士キメラ総研は2020年3月12日、車載電装システムの市場調査結果を発表した。電動化の進展や、ADAS(先進運転支援システム)と自動運転システムの普及により市場が大幅に拡大し、2030年には2018年比でほぼ倍増の48兆9120億円に成長する見込みだ。(2020/3/24)

Innovative Tech:
口パクで音声入力、喉に小型センサーで 東大とソニーCSLが技術開発
視聴覚障害者のための触診リップリーディングから発想を得た。(2020/3/18)

センシング:
三菱電機がMEMS式LiDARを開発、10cm角サイズで水平視野角は120度
三菱電機は、水平・垂直の2軸で走査する電磁駆動式MEMS(微小電子機械システム)ミラーを搭載し、小型で広い水平視野角を持つ「MEMS式車載LiDAR(ライダー)」を開発した。今後は、さらなる小型化や垂直視野角の拡大を進め、2025年度以降の実用化を目指す。(2020/3/13)

医療技術ニュース:
マイクロマシンを使って疑似生体組織を構築
産業技術総合研究所は、人工組織の構築を目的としたマイクロマシンを開発した。磁力を利用して細胞を目的地まで供給する。細胞には特定の処理を施す必要はない。マイクロマシンの大きさや形は変化できる。(2020/2/28)

工場ニュース:
センサーの需要拡大対応に向け、フィンランドに新生産棟を建設
村田製作所は、開発、生産子会社であるフィンランドのMurata Electronics Oyの生産棟が完成したと発表した。生産棟の新設により、センサーの中長期的な需要増加に対応できるよう、生産体制を強化する。(2020/2/26)

11×4.3×3mmを実現、さらに小型化も:
「世界最小」フルカラーレーザーモジュール、量産へ
福井大学とケイ・エス・ティ・ワールドは「第6回ウェアラブルEXPO」(2020年2月12〜14日/東京ビッグサイト)で「世界最小」(同社)のフルカラーレーザーモジュールを展示した。同大などが実現を目指す「ふつうの眼鏡の外観と変わらない網膜投影ウェアラブルディスプレイ」の光学基幹部品として開発中のもの。このモジュールは2020年秋に量産を開始する予定という。(2020/2/19)

シリコンMEMS市場に参入:
京セラ、シリコンMEMSレゾネーターを製品化へ
京セラは、シリコンMEMS市場に参入する。独自技術により優れた周波数温度特性とESR(等価直列抵抗)特性を実現した「シリコンMEMSレゾネーター」の製品化技術を確立し、2021年より量産を始める計画である。(2020/2/17)

組み込み開発ニュース:
ドローンにも搭載できる角度直接検出型の高精度ジャイロセンサー
東芝は、機器が回転する角度を直接検出できるジャイロセンサーの小型モジュールを開発した。無人搬送機やドローンなどの小型機器でも、高精度で応答性の高いジャイロセンサーを搭載した実証実験が可能になる。(2020/2/12)

第24回「震災対策技術展」横浜:
揺れや温湿度をリアルタイム監視、エプソンとAnalog Devicesのセンサーを採用
ナレッジフォーサイトは、加速度と温湿度などを測るセンサーを活用して、地震が発生した時の揺れやインフラ構造物の振動をリアルタイムにモニタリングするサービスを展開している。(2020/2/10)

オートモーティブワールド2020:
自動運転車向けLiDARの開発が過熱、新方式の提案が続々と
レベル4以上の自動運転システムにおいて重要だとされるLiDAR。本稿では「オートモーティブワールド2020」に出展したLiDARメーカーの最新技術を紹介する。(2020/2/4)

MEMSセンサーの生産体制強化:
村田製作所、フィンランド子会社の新生産棟が完成
村田製作所が、フィンランドの子会社で建設を進めてきた新生産棟が完成した。自動車や産業機器、ヘルスケア機器などに向けたMEMSセンサーの需要増に対応するため、生産体制を強化した。(2020/1/30)

TDK CH-201:
計測距離最大5m、MEMSベースの超音波ToFセンサー
TDKは、MEMSベースの超音波ToFセンサー「CH-201」を一部の機器メーカー向けに発売した。計測距離が最大5mに拡大されており、開発者は電子機器を設計する際に新機能を付加できる。(2020/1/29)

ロボットやドローンなど小型機器向け:
東芝、角度直接検出型のRIGモジュールを開発
東芝は、回転する角度を直接検出できる小型のジャイロセンサー(RIG:Rate Integrating Gyroscope)モジュールを開発した。(2020/1/27)

オートモーティブワールド2020:
28nm FD-SOI車載マイコンやSiCパワーデバイスを公開
STMicroelectronics(以下、ST)は2020年1月15日から東京ビッグサイトで開催されている展示会「オートモーティブ ワールド」(会期:1月17日まで)で、新しい車載マイコン製品群「Stellarファミリ」やSiC(炭化ケイ素)を用いたパワーデバイス製品などを展示している。(2020/1/16)

CES 2020:
パナソニック、完全ワイヤレスイヤフォン参入
パナソニックはCES会場で、完全ワイヤレスイヤフォンを発表した。(2020/1/14)

アナログ・デバイセズ幹部が解説:
PR:自動運転のカギを握るのはLIDAR ―― 「未来の自動車」に向けたセンシング技術展望
自律輸送の時代が近づきつつあります。高いレベルの自律性を備える輸送システムが、今まさに実現されようとしている。その基盤になるのは、MEMSベースの次世代慣性センサーや、レーダー、LIDAR(Light Detection and Ranging)のソリューションである。それらの高性能センシング技術について、アナログ・デバイセズで自律輸送/車両安全担当ヴァイスプレジデントを務めるChris Jacobsが解説する。(2020/1/8)

電子ブックレット:
2019年のセンサー/センシングを振り返る
「EE Times Japan」に掲載した主要な記事を、読みやすいPDF形式の電子ブックレットに再編集した「エンジニア電子ブックレット」。今回は、2019年に公開したセンサー/センシング技術関連記事をまとめた「2019年のセンサー/センシングを振り返る」を紹介します。(2019/12/26)

光回路の搭載も目指す:
パッケージング技術開発の40億円プロジェクト、EUで始動
欧州は、オプティクスやフォトニクスなどの、複雑なシステムや最先端パッケージングに対する需要の高まりを受け、製造およびパッケージング関連の価値連鎖を維持しながら活性化させることができるのだろうか。EUの「Applause」プロジェクトは、フォトニクスやオプティクス、エレクトロニクス向けに低コスト製造を実現するための最先端パッケージング技術を提供するという、欧州の野心を示している。(2019/12/18)

SEMICON Japan 2019:
SCREEN、洗浄装置や膜厚測定装置で処理能力向上
SCREENセミコンダクターソリューションズは、「SEMICON Japan 2019」で、スループットを向上させた枚葉式洗浄装置「SU-3300」や光干渉式膜厚測定装置「VM-2500」などのパネル展示を行った。(2019/12/16)

SEMICON Japan 2019:
ミニマルファブ、実チップで動作実証にも成功
ミニマルファブ推進機構は、「SEMICON Japan 2019」で、「つながるミニマルファブ」をテーマに、合計で約50台のミニマル生産システム装置群を展示。ミニマルファブで製造し、動作実証に成功した半導体チップも展示した。(2019/12/16)

16個並列でノイズを大幅に削減:
MEMS加速度センサーで精密な「たわみ計測」を実現
アナログデバイセズ(ADI)は「第6回鉄道技術展2019」(2019年11月27〜29日、幕張メッセ)で、同社の低ノイズMEMS加速度センサーを活用した「橋梁のたわみ測定ソリューション」などを展示した。(2019/12/5)

IIoT向け製品を一挙公開:
5kHzの高周波も検知する加速度センサー、STマイクロ
STマイクロエレクトロニクスは、「ET&IoT Technology 2019」(2019年11月20〜22日、パシフィコ横浜)で、5kHzの高周波も検知する加速度センサーによる予知保全や組み込みAI(人工知能)を用いた画像認識など、同社が展開するIIoT(インダストリアルIoT)をターゲットにした製品とそのデモを展示した。(2019/11/26)

福田昭のデバイス通信(212) 2019年度版実装技術ロードマップ(23):
IoT社会に向けて多様化する電子デバイスパッケージ
今回から、第3章「電子デバイスパッケージ」の概要を説明していく。「2019年度版 実装技術ロードマップ」で約70ページが割かれている重要な章だ。序章では、年間で1兆個のセンサーが生産される「トリリオンセンサー」について言及している。【訂正あり】(2019/11/25)

IP67に準拠:
防水型の産業用ラズパイ、Compute Module 3+を搭載
ドイツHartingの日本法人であるハーティングは「ET&IoT Technology 2019」(2019年11月20〜22日、パシフィコ横浜)で、「Raspberry Pi(ラズパイ)」をベースにした産業用エッジコンピュータと「MICA(ミカ)-R」のデモを展示した。(2019/11/22)

組み込み開発ニュース:
中国が躍進する半導体国際学会「ISSCC 2020」、採択状況と注目論文を紹介
半導体回路に関する国際学会「ISSCC(International Solid-State Circuits Conference)」は2019年11月19日、東京都内で記者会見を開催し、「ISSCC 2020」の概要と注目論文を紹介した。(2019/11/20)

この10年で起こったこと、次の10年で起こること(40):
AirPods Pro、Galaxy Fold、Pixel4…… 2019年下半期の話題製品を一挙解剖
今回は、2019年に話題を集めた製品を分解、チップ開封解析し、そこから見えてくるさまざまなことを報告したい。具体的には、「AirPods Pro」などのワイヤレスイヤフォンや「Galaxy Fold」「Pixel4」といったスマートフォン、ウェアラブル端末「Fitbit Versa2」などを取り上げる。【訂正あり】(2019/11/13)

新たな触覚センサー開発へ:
タッチエンス、香川大学とライセンス契約結ぶ
タッチエンスは、香川大学とMEMS触覚センサー技術に関するライセンス契約を結んだ。(2019/11/14)

SEMIが発表:
MEMS/センサーの生産能力、2023年に月470万枚
MEMS/センサー用ファブの世界生産能力は、2023年に月間470万ウエハーとなる見通し。SEMIが発表した。(2019/11/6)

スマスピやiPhoneのマイクをレーザー光線で操作する攻撃、電通大教授らが警告
スマートスピーカーやスマートフォンなどのデバイスのMEMSマイクにレーザー光線を当てることで、AIアシスタントを操作する攻撃「Light Commands」を研究者らが発表。最大110メートル離れた位置からスマスピにレーザーを当てることで、遠隔操作に成功した。MEMSマイクはスマスピだけでなく、iPhoneなどのスマートフォンにも搭載されている。(2019/11/5)

CEATEC 2019:
“匂い?臭い?”問題をセンサーで解決、匂いのデータ化でエコシステムを構築
第一精工と凸版印刷は「CEATEC 2019」(2019年10月15〜18日、千葉県・幕張メッセ)において「匂い」を数値化できる「匂いセンサー」を出展。異臭検知や腐敗検知、ガス漏れ対策などさまざまな用途展開へと期待を集めた。(2019/10/24)

車載コネクターも全て網羅:
独自構造で高速伝送&高信頼性実現のコネクター
日本航空電子工業は「CEATEC2019」(幕張メッセ、2019年10月15〜18日)で、2点接点による高い接触信頼性と8Gビット/秒(PCleGen3規格相当)の高速伝送を両立した基板対基板フローティングコネクター「AX01シリーズ」などを紹介した。(2019/10/23)



にわかに地球規模のトピックとなった新型コロナウイルス。健康被害も心配だが、全国規模での臨時休校、マスクやトイレットペーパーの品薄など市民の日常生活への影響も大きくなっている。これに対し企業からの支援策の発表も相次いでいるが、特に今回は子供向けのコンテンツの無料提供の動きが顕著なようだ。一方産業面では、観光や小売、飲食業等が特に大きな影響を受けている。通常の企業運営においても面会や通勤の場がリスク視され、サーモグラフィやWeb会議ツールの活用、テレワークの実現などテクノロジーによるリスク回避策への注目が高まっている。