「Burn-In/Reliability」では、「HTOL(High Temperature Operating Life:高温動作寿命)」と呼ばれるストレステストを数週間〜数カ月間に渡り行い、高温/高電圧下における経年劣化シミュレーションを実施する。製品の長期的な耐久性を保証するための信頼性検証だ。
ATS同様に、本格的な量産前に行うテストで、想定するHPC利用環境下で必要十分な性能や寿命を確保できるかを確認する。
「Automated Test Equipment(ATE)」は、量産段階における最初の品質検証だ。電気的な動作を、精密な計測機器を用いてシリコンレベルで直接的に確認し、各種スキャンやメモリ内蔵自己テスト(MBIST)、インタフェースの検証を行う。
この過程でリーク電流やタイミング障害、電力異常といった欠陥を“早期に”見つけ出し、歩留まりを最適化するための振り分け作業が行われる。
ポストシリコンの工程では初期のテスト段階に当たり、より複雑でコストのかかる後のテスト段階に進む前に、基本機能の確認やスクリーニングを行うことが狙いとなる。
「Device Analysis」では、別名の「Failure Analysis」が示す通り、超音波(エコー)撮影や3D X線スキャニングを組み合わせて、非破壊でのチップ故障の原因を調査する。
構造的な欠陥を特定するとともに、走査型電子顕微鏡(SEM)も活用してナノスケールでの検査や材料分析を行う。ここでの検証結果が設計や各種テスト工程へとフィードバックされ、最終的に歩留まりや信頼性向上につながっていく。
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